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Tubo de PFA

Fluoropolímero



PFA Propiedades físicas

Item Test Method Unit Standard Value
Density ASTM D-3307 -- 2.12~2.17
Melting Point (DSC) ASTM D-3307 °C 295~305
Tensile Strength ASTM D-3307 Mpa (kgf/cm2) min 30
Elongation % min 300
MFR Value g/10min 1.5~2.5


Dimensión de tubo PFA

  Size O.D. I.D. Wall TK. Tolerance
  O.D. Wall TK.
mm Size 3 3 2 0.5 ±0.1 ±0.05
4 4 3 0.5 ±0.1 ±0.05
6 6 4 1 ±0.1 ±0.06
8 8 6 1 ±0.12 ±0.06
10 10 8 1 ±0.12 ±0.06
12 12 10 1 ±0.12 ±0.06
19 19 15.8 1.6 ±0.12 ±0.10
25 25 22 1.5 ±0.2 ±0.10
Inch Size 1/8'' 3.18 2.18 0.5 ±0.10 ±0.05
1/4'' 6.35 3.95 1.2 ±0.10 ±0.10
3/8'' 9.53 6.35 1.6 ±0.12 ±0.10
1/2'' 12.7 9.53 1.6 ±0.12 ±0.10
3/4'' 19.05 15.8 1.6 ±0.12 ±0.10
1'' 25.4 22.2 1.6 ±0.2 ±0.10
1 1/4'' 31.8 28 1.9 ±0.25 ±0.15
1 1/2'' 38.1 33.7 2.2 ±0.25

±0.15

Remark

  1. Longitud, tolerancia y  la longitud del tubo se muestran como metro metro(s) tol es 0~≠2%.
  2. Se acepta el pedido de tamaño personalizado
  3. La rugosidad de la superficie es según SEMI F52-1101, μm<=0.25, μin<=10.
  4. Volumen de disolución de metales es según SEMI f57-0301.


  • Tanto el tubo PFA como el tubo FEP, materiales de la familia de los teflones, son dos tipos de plásticos totalmente fluorados. 
  • Material con unas excelentes características físicas y químicas que les permiten trabajar en prácticamente cualquier medio, sin resentirse en absoluto en ningún momento y evitando cualquier tipo de corrosión.
  • Químicamente resistente y translúcido.
  • Está diseñado para utilizarase con los racores FIT-ONE de PFA para aplicaciones con líquidos altamente agresivos y con un sistema de montaje extremadamente seguro.
  • Larga duración del servicio 
  • Amplio rango de temperaturas de funcionamiento

Aplicaciones de semiconductores que incluyen 

  • Fotolitografía
  • Planarización químico-mecánica (CMP)
  • Sistema de dosificación o distribución de químicos a granel
  • Procesos limpios
  • Aparatos para atacar con ácido, revelar, desnudar o limpiar los discos (wafers) de material semiconductor o los substratos para visualizadores de pantalla plana